ГОСТ Р 8.628-2007 - Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м.Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов
| Наименование документа: | ГОСТ Р 8.628-2007 |
| Тип документа: | стандарт |
| Статус документа: | действующий |
| Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления |
| Название англ.: | State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Requirements for geometrical shapes, linear sizes and manufacturing material selection |
| Дата актуализации текста: | 19.03.2013 |
| Дата введения: | 01.02.2008 |
| Дата актуализации описания: | 19.03.2013 |
| Кол-во страниц в основном тексте документа: | 11 шт. |
| Дата издания: | 10.02.2011 |
| Переиздание: | переиздание с изм. 1 |
| Дата последнего изменения: | 18.12.2012 |
| Поправки и изменения: | Изменение №1 к ГОСТ Р 8.628-2007 (2011-04-01) - в новом окне:Изменение №1 к ГОСТ Р 8.628-2007 |
| Расположен в: |   ОКС Общероссийский классификатор стандартов 17 МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ 17.040 Линейные и угловые измерения (Включая геометрические характеристики (GPS)) 17.040.01 Линейные и угловые измерения в целом (Включая геометрические характеристики (GPS)) КГС Классификатор государственных стандартов Т Общетехнические и организационно-методические стандарты Т8 Государственная система измерений Т88 Методики поверки и метрологической аттестации Тематические сборники ГСОЕИ Государственная система обеспечения единства измерений. |
           Изменение №1 к ГОСТ Р 8.628-2007Дата введения в действие:2011-04-01  | |
