ГОСТ Р 8.716-2010 - Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика измерений
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм - рефлектометры экстремального вакуумного ультрафиолетового излучения, предназначенные для измерения коэффициентов зеркального и диффузного отражения, и устанавливает методику измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения.ЭУФ рефлектометры обеспечивают в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне значений от 0,01 до 0,99.
В качестве источников непрерывного ЭУФ излучения используют электронные накопительные кольца. В качестве источников импульсного ЭУФ излучения используют открытые излучатели на основе капиллярного разряда с испаряющейся стенкой или плазменного фокуса, а также электронные синхротроны. В качестве приемников ЭУФ излучения используют солнечно-слепые фотодиоды на основе многослойных наноструктур
| Наименование документа: | ГОСТ Р 8.716-2010 |
| Тип документа: | стандарт |
| Статус документа: | действующий |
| Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика измерений |
| Название англ.: | State system for ensuring the uniformity of measurements. Reflectometers of the extreme ultraviolet radiation for measurements of the characteristics of multilayer nanostructures in the wavelength range 10 to 30 nm. Measurement procedure |
| Дата актуализации текста: | 19.03.2013 |
| Дата введения: | 01.01.2012 |
| Дата актуализации описания: | 19.03.2013 |
| Кол-во страниц в основном тексте документа: | 12 шт. |
| Дата издания: | 22.11.2011 |
| Переиздание: | |
| Дата последнего изменения: | 15.11.2012 |
| Расположен в: |   ОКС Общероссийский классификатор стандартов 17 МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ 17.020 Метрология и измерения в целом (Включая измерительные приборы в целом, предпочтительные числа, эталонные меры, общие аспекты эталонных материалов и т. д. ;Величины и единицы измерений см.: 01.060 ;Химические эталонные материалы см.: 71.040.30) КГС Классификатор государственных стандартов Т Общетехнические и организационно-методические стандарты Т8 Государственная система измерений Т84 Государственные эталоны единиц физических величин и государственные поверочные схемы Тематические сборники ГСОЕИ Государственная система обеспечения единства измерений. |
            | |
