| |||||||||||||||||||||||||||||||
Государственные стандарты - главная страницаГОСТ 26239.1-84 - Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесейНастоящий стандарт устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения примесей в интервалах значений массовых долей в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четуреххлористом кремнии и трихлорсилане
|