ГОСТ 25196-82 - Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники| Наименование документа: | ГОСТ 25196-82 |
| Тип документа: | стандарт |
| Статус документа: | действующий |
| Название рус.: | Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования |
| Название англ.: | Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements |
| Дата актуализации текста: | 19.03.2013 |
| Дата введения: | 01.07.1983 |
| Дата актуализации описания: | 19.03.2013 |
| Кол-во страниц в основном тексте документа: | 3 шт. |
| Дата издания: | 04.05.1982 |
| Переиздание: | |
| Дата последнего изменения: | 18.05.2011 |
| Расположен в: |   ОКС Общероссийский классификатор стандартов 23 ГИДРАВЛИЧЕСКИЕ И ПНЕВМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И КОМПОНЕНТЫ ОБЩЕГО НАЗНАЧЕНИЯ (Измерение потока жидкости см.: 17.120) 23.160 Вакуумная технология (Включая вакуумные насосы) КГС Классификатор государственных стандартов Э Электронная техника, радиоэлектроника и связь Э7 Технологическое и контрольно-испытательное оборудование для изготовления и контроля качества изделий радиоэлектроники Э71 Технологическое оборудование для изготовления изделий электронной и радиопромышленности |
   | |
