ГОСТ 26239.8-84 - Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
Настоящий стандарт устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом| Наименование документа: | ГОСТ 26239.8-84 |
| Тип документа: | стандарт |
| Статус документа: | действующий |
| Название рус.: | Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния |
| Название англ.: | Semiconductor silicon and raw materials for its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilane and silicon tetrachloride determination |
| Дата актуализации текста: | 19.03.2013 |
| Дата введения: | 01.01.1986 |
| Дата актуализации описания: | 19.03.2013 |
| Кол-во страниц в основном тексте документа: | 9 шт. |
| Дата издания: | 21.01.1985 |
| Переиздание: | |
| Дата последнего изменения: | 18.05.2011 |
| Поправки и изменения: | Изменение №1 к ГОСТ 26239.8-84 (1991-01-01) - «Срок действия продлен» |
| Расположен в: |   ОКС Общероссийский классификатор стандартов 29 ЭЛЕКТРОТЕХНИКА 29.045 Полупроводниковые материалы КГС Классификатор государственных стандартов В Металлы и металлические изделия В5 Цветные металлы и их сплавы. Прокат из цветных металлов В59 Методы испытаний. Упаковка. Маркировка |
         | |
