| |||||||||||||||||||||||||||||||
Государственные стандарты - главная страницаГОСТ 26239.3-84 - Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфораНастоящий стандарт устанавливает экстракционно-фотометрический метод определения фосфора в техническом кремнии, экстракционно-колориметрический метод определения фосфора в трихлорсилане и тетрахлориде кремния и двуокиси кремния (синтетическом кварце); нейтронно-активационный метод определения фосфора в полупроводниковом кремнии
|