ГОСТ Р 8.627-2007 - Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений
Настоящий стандарт распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения, используемых для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике| Наименование документа: | ГОСТ Р 8.627-2007 |
| Тип документа: | стандарт |
| Статус документа: | действующий |
| Название рус.: | Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений |
| Название англ.: | State system for еnsuring the uniformity of measurements. Measurements of coefficients of regular and diffuse transmittance of ultraviolet radiation. Methods for measurements |
| Дата актуализации текста: | 19.03.2013 |
| Дата введения: | 01.07.2007 |
| Дата актуализации описания: | 19.03.2013 |
| Кол-во страниц в основном тексте документа: | 8 шт. |
| Дата издания: | 24.04.2007 |
| Переиздание: | |
| Дата последнего изменения: | 18.12.2012 |
| Расположен в: |   ОКС Общероссийский классификатор стандартов 17 МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ 17.020 Метрология и измерения в целом (Включая измерительные приборы в целом, предпочтительные числа, эталонные меры, общие аспекты эталонных материалов и т. д. ;Величины и единицы измерений см.: 01.060 ;Химические эталонные материалы см.: 71.040.30) КГС Классификатор государственных стандартов Т Общетехнические и организационно-методические стандарты Т8 Государственная система измерений Т84 Государственные эталоны единиц физических величин и государственные поверочные схемы Тематические сборники ГСОЕИ Государственная система обеспечения единства измерений. |
        | |
